Вакуумная установка нанесения многофункциональных нанокомпозитных покрытий QVADRA 500 (569)

Работа установки QUADRA 500 основана на методе квадрупольного магнетронного распыления. В отличие от дуальной схемы магнетроны квадрупольной системы равномерно разнесены вокруг карусельного устройства. Это обеспечивает в процессе нанесения покрытий существенно более высокую однородность плазмы по всей траектории движения изделий-подложек и практически исключает наличие «теневых» зон с низкой степенью ионизации и малой плотностью потока металлических атомов.

Потребляемая мощность:

— в режиме откачки, не более, 3 кВ;

— в режиме нанесения покрытий, не более, 30 кВт.

Расход водопроводной воды:

— в режиме откачки, не более, 0,4 м3/час;

— в режиме нанесения покрытий, не более, 1,2 м3/час.

Вакуумный откачной пост включает в себя:

— вакуумную камеру с размером камеры (диаметр/высота), 600/500 мм;

— турбомолекулярный насос фирмы ADIXEN;

— форвакуумный безмасленый насос фирмы ADIXEN;

— вакуумная запорная аппаратура с пневмоприводом фирмы SMC;

— компрессор с пневмораспределителями и системой подготовки сжатого воздуха фирмы SMC;

— cистема охлаждения вакуумного и технологического оборудования с системой блокировок по минимальным расходам по каждому устройству.

Время достижения в камере давления 3×10-3 Па с начала откачки не более 30 мин.

Натекание в камеру после откачки воздуха из камеры в течение 1 ч, замеренное при закрытом затворе, не более 0,2 нсм3/мин.

Квадрупольная распылительная система несбалансированых планарных магнетронов:

— размер мишеней, мм 380×80×6;

— размеры магнетронов, мм 440×105×60;

— количество магнетронов, шт. 4;

— возможность работы магнетронов в автономном, дуальном и квадрупольном режимах.

Система электропитания квадрупольной распылительной системы несбалансированных планарных магнетронов:

— выходная мощность, кВт 4×9;

— выходной ток по каждому магнетрону, А 0,5-15;

— режим электропитания магнетронов: импульсный с задаваемой частотой 0,1-40 кГц, стабилизацией параметров и системой дугогашения;

— возможность работы системы в автономном, дуальном и квадрупольном режимах.

Ионный источник:

— тип ионного источника — ионный источник с замкнутым дрейфом электронов;

— размер ионного пучка, мм 250×40

Блок питания ионного источника:

— выходная мощность, кВт 1;

— выходной ток, А 0,05-0,35;

— выходное напряжение, В 150-3000

Система напуска технологических газов на базе измерителей-регуляторов расхода:

— тип измерителей-регуляторов расхода: РРГ-10;

— количество независимых каналов 3;

— максимальное отклонение расхода газа, %, 1;

— ПИД регулирование потоков газа по датчику давления;

— максимальное отклонение давления в камере, %, не более 5.

Карусельное устройство

— планетарное вращение сателлитов — вокруг центральной оси карусели и вокруг своей оси;

— диаметр орбиты по осям сателлитов, мм 400

— количество сателлитов, не менее, шт. 26

— высота «эффективной» зоны, мм 200

Блок питания потенциала смещения.

— блок питания потенциала смещения импульсный с задаваемой частотой 0.1-40 кГц, оснащенный системой стабилизации параметров и системой дугогашения;

— потенциал смещения, подаваемый на карусель, В, 10 — 1200

— ток смещения при Uвых=1200В, не менее, А 3

— ток смещения при Uвых ≤ 150В, не менее, А 20

Стойка управления

Стойка с автоматизированной системой управления на базе промышленного программируемого контроллера фирмы «FASTWELL», включающего:

— контроллер с устройствами ввода-вывода и отображения информации;

— система управления и контроля верхнего уровня на основе персонального ПК со специализированным программным обеспечением;

— программное обеспечение контроллера.

Пакет технологических программ нанесения упрочняющих и функциональных покрытий:

Многофазные нанокомпозитные покрытия:

nc-TiN/nc-AlN, nc-TiAlN/a-Si3N4, nc-CrAlN/a-Si3N4, nc-Cr2О3/nc-Al2O3, nc-TiО2/nc-Al2O3

Количество испытаний прибора: 62

Календарь использования прибора:

Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс
Октябрь
Октябрь
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
21
22
23
24
25
26
27
28
29
30
Декабрь
Декабрь
Декабрь