Сканирующий электронный микроскоп высокого разрешения TESCAN MIRA 3 LMU

Характеристики электронного микроскопа

FEG SEM высокого разрешения
Катод Шоттки высокой яркости для получения изображений высокого разрешения, высокой контрастности, с низким уровнем шумов.
Специальный In-Beam детектор в качестве опции для получения изображений высокого разрешения, особенно при низких ускоряющих напряжениях.
Современная электронная оптика
Уникальная конструкция электронно-оптической колонны с тремя линзами по технологии Wide Field Optics™ для работы в различных режимах сканирования (Разрешение, Глубина резкости, Широкое поле обзора и т.д.).
Замена эффективной финальной апертуры осуществляется с помощью запатентованной TESCAN промежуточной электромагнитной линзы (IML).
Конструкция колонны микроскопа, выполненная без единого механически центрируемого элемента, позволяет полностью автоматизировать настройку и юстировку колонны.
Технология In-Flight Beam Tracing™ для контроля и оптимизации параметров пучка электронов в реальном времени с помощью Electron Optical Design
Уникальное «живое» стереоскопическое изображение, получаемое с помощью технологии 3D Beam, делает секреты микро- и нано-миров доступными для 3D-наблюдений и 3D-навигации.
Сканирование с высокой скоростью (вплоть до 20 нс/пиксель).
Аналитические возможности
Большая камера образцов с компуцентрическим столиком, моторизованным по 5-ти осям.
Детекторы сцинтилляторного типа на основе высокочувствительных YAG кристаллов незаменимы при сканировании с высокими скоростями.
11+ интерфейсных портов камеры с оптимальной геометрией для установки детекторов EDX, WDX, EBSD.
Интегрированная пневматическая (или, опционально, активная электромагнитная) подвеска для подавления влияния внешних вибраций.
Автоматизация исследований
Моторизованный столик образцов с быстрым перемещением и с точным воспроизведением координат удобен для различных процедур автоматизации исследований.
Совместимость со сторонним программным обеспечением и с продуктами других производителей по протоколу TCP/IP (что, например, позволяет автоматизировать EDX анализ).
Высокопроизводительная автоматизация исследований больших площадей поверхности образцов для, например, автоматического поиска и анализа частиц.
Усовершенствованное управление
Все процедуры настройки микроскопа автоматизированы, в том числе центрирование и настройка электронной оптики.
Прогрессивное программное обеспечение для управления микроскопом, накопления, обработки, анализа и архивирования изображений.
Многопользовательский интерфейс программного обеспечения, локализованный под несколько языков (в том числе под русский).
Три уровня доступа к управлению микроскопом, включая EasySEM уровень для начинающих пользователей.
Встроенная система сортировки изображений и создания отчетов.
Управление микроскопом по сети и встроенный удаленный доступ/диагностика в стандартном комплекте программного обеспечения.
Встроенная система самодиагностики.
Характеристики энергодисперсионного спектрометра:

— SDD детекторы X-Max с активной площадью кристалла 50 мм2

— Гарантированные характеристики разрешения по энергии не зависят от площади кристаллов

— Определение любых элементов от бериллия

— Моторизованный слайдер

— Высокая производительность и точность обеспечиваются при малых токах зонда — оптимальных для исследования наноструктур

— Не требуется жидкий азот для охлаждения

— Гарантирована стабильность позиции пика <1eV @Mn Ka и стабильность разрешения <1eV @Mn Ka при скорости счета до 100 000 имп/сек — Гарантированные характеристики по легким элементам (углерод, фтор) соответствующие стандарту ISO 15632:2002 — Надежный количественный анализ при скорости счета >100 000имп/сек

— Уникальный интерфейс Inca Energy делает микроанализ простым и удобным

— Модернизация (замена кристалла) для детекторов этого семейства может выполняться на месте установки

Количество испытаний прибора: 387

Календарь использования прибора:

Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс
Июль
1
2
3
4
5
6
7
8
  • СМИК
    Весь День
    08-08-2017

    1 — ИС
    2 — ГВ
    3 — ГК
    4 — МЗБ

9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
21
22
23
24
25
26
27
28
29
30
31
Сентябрь
Сентябрь
Сентябрь